RFID技術作為物聯(lián)網的感知層面,是現實世界與虛擬世界進行信息交換與通信的核心之一,能夠實現智能化識別、定位、追蹤、監(jiān)控和管理等。SECS(Semiconductor Equipment Communication Standard)協(xié)議是半導體設備通訊標準,用來統(tǒng)一各個生產設備之間以及生產設備和控制設備之間的通訊,由SEMI(Semiconductor Equipment and Materials Institute)制定,被廣泛應用于半導體設備和系統(tǒng)的控制和數據傳輸。