6月28日，廣州增芯科技有限公司12英寸先進(jìn)智能傳感器及特色工藝晶圓制造量產(chǎn)線項(xiàng)目（以下簡稱“增芯項(xiàng)目”），在廣州增城開發(fā)區(qū)舉行投產(chǎn)儀式，中國國內(nèi)第一條12英寸MEMS量產(chǎn)線正式投產(chǎn)。

據(jù)官網(wǎng)介紹，增芯項(xiàng)目由廣州智能傳感器產(chǎn)業(yè)集團(tuán)發(fā)起，于2021年4月成立，定位為國內(nèi)第一家專業(yè)定制化12英寸傳感器晶圓廠，針對智能化、微型化等物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用領(lǐng)域中的核心器件（如力學(xué)、聲學(xué)、微流控、生物等傳感器件及配套ASIC芯片等），打造集研發(fā)、量產(chǎn)制造、封測與應(yīng)用一體的先進(jìn)制造平臺，產(chǎn)品包括三大類工藝產(chǎn)品MEMS、BCD及邏輯工藝，對廣州市及廣東省的集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展具有重要意義。

對于建設(shè)計(jì)劃，增芯科技按照“一次規(guī)劃、分步實(shí)施”原則，計(jì)劃用5年時(shí)間投資370億元，在廣州市增城區(qū)建設(shè)兩座智能化晶圓廠，總產(chǎn)能達(dá)到12萬片/月。

其中，增芯項(xiàng)目第一座晶圓廠（FAB1）分兩期，第一期產(chǎn)能2萬片/月，總投資70億元；第二期產(chǎn)能4萬片/月，總投資100億元；第二座晶圓廠（FAB2）為第三期，產(chǎn)能6萬片/月，總投資200億元。第一座晶圓廠預(yù)計(jì)2026年滿產(chǎn)，第二座晶圓廠預(yù)計(jì)2027年滿產(chǎn)。

2022年12月14日，增芯項(xiàng)目一期第一階段項(xiàng)目正式開工建設(shè)，批復(fù)投資70億元人民幣，建設(shè)月加工2萬片12英寸的MEMS晶圓制造量產(chǎn)線。

6月28日，增芯項(xiàng)目投產(chǎn)活動(dòng)舉行，中國第一條12英寸MEMS量產(chǎn)線進(jìn)入生產(chǎn)階段，本次投產(chǎn)的為增芯項(xiàng)目第一座晶圓廠一期。此前相關(guān)報(bào)道顯示，增芯項(xiàng)目將在2024年實(shí)現(xiàn)“3月光刻機(jī)進(jìn)場、6月通線、9月產(chǎn)品下線、12月交付客戶”的階段性目標(biāo)。

近年來，廣東省正在以智能傳感器、模擬芯片等產(chǎn)品為突破口帶動(dòng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展，大力推進(jìn)“強(qiáng)芯工程”建設(shè)，增芯項(xiàng)目的快速投產(chǎn)便是其中的縮影。

在傳感器技術(shù)朝著微型化、集成化、模塊化、智能化方向演進(jìn)的當(dāng)前，MEMS技術(shù)已成為一場必然的技術(shù)革命。

據(jù)Yole最新產(chǎn)業(yè)報(bào)道的數(shù)據(jù)顯示，2023年中國大陸僅生產(chǎn)了約9萬片MEMS晶圓，遠(yuǎn)遠(yuǎn)不足與北美、歐洲、日本等地區(qū)110萬、75萬的產(chǎn)量相提并論。而中國卻有著在消費(fèi)電子、汽車、自動(dòng)駕駛、人工智能等產(chǎn)業(yè)市場下的廣袤的需求。在國內(nèi)積極推進(jìn)產(chǎn)線建設(shè)的同時(shí)，也對本土MEMS企業(yè)在全球化市場中的競爭力提出更高要求。