美國馬薩諸塞州畢萊卡2011-03-15(中國商業(yè)電訊)－－Entegris, Inc. (NASDAQ: ENTG) 今天宣布，將在本周于中國上海新國際博覽中心舉行的 2011 SEMICON China 展會上展示對于半導(dǎo)體和 LED 制造商的最新解決方案。為了滿足 LED 制造商漸增提高產(chǎn)量而不斷的需求，Entegris 將顯示其新型 Ultrapak® 150 mm 厚外延片運(yùn)輸盒及 Aeronex® 氣體純化系統(tǒng)如何通過提高和保持外延片的完整性來幫助制造商提高產(chǎn)量。

Ultrapak® 150 mm 外延片運(yùn)輸盒是專為運(yùn)輸 1.3 mm 厚度的外延片而設(shè)計(jì)的，該類外延片常用于制造 LED 芯片。這種聚丙烯運(yùn)輸盒可將外延片穩(wěn)固，限制旋轉(zhuǎn)，減少微粒污染并防止外延片出現(xiàn)損壞或破裂。

“通過與主流 LED 制造商緊密協(xié)作，Entegris 確定并對其得到廣泛應(yīng)用的半導(dǎo)體運(yùn)輸盒進(jìn)行了重大改進(jìn)，符合了 LED 行業(yè)的獨(dú)特需求，”Entegris 的微環(huán)境部門副總裁兼總經(jīng)理威廉•謝納如是說。“我們將制造商的建議與 Entegris 三十多年的外延片運(yùn)輸經(jīng)驗(yàn)結(jié)合在一起，為這些關(guān)鍵基片設(shè)計(jì)出最堅(jiān)固耐用的運(yùn)輸盒。”

具體的改進(jìn)包括加大外延片間距及節(jié)距，以符合比標(biāo)準(zhǔn)外延片更厚的外延片要求。設(shè)計(jì)還采用一種新型中級的輔助包裝系統(tǒng)來支持和保護(hù)更重的負(fù)載。新型外延片盒擴(kuò)展了 Entegris 目前的 LED 外延片運(yùn)輸盒產(chǎn)品系列，包括用于薄外延片的多數(shù)外延片運(yùn)輸盒、單外延片運(yùn)輸盒以及用于制造廠內(nèi)部加工的多數(shù)外延片集裝箱。

除了 Ultrapak 運(yùn)輸盒以外，Entegris 還將展出其面向高亮度 LED (HBLED) 制造應(yīng)用的氣體純化解決方案 Aeronex 系列。這些系統(tǒng)能夠在最大運(yùn)行時間內(nèi)提供可靠的氣體純化服務(wù)，使制造商能夠生產(chǎn)出具有最高光致發(fā)光峰值和發(fā)光效率的 HBLED。該種多層設(shè)計(jì)可持續(xù)供應(yīng)純化氣體，且有多個氮、氫和氨的流量范圍可供選擇。

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