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夏普公布可削減制造成本50%的晶圓制造方法
作者:河合 基伸
來(lái)源:日經(jīng)BP社報(bào)道
日期:2008-09-09 09:15:11
摘要:夏普公布可削減制造成本50%的晶圓制造方法
夏普發(fā)表了可將制造成本減半的晶圓制造方法(2BO.3.1:New Wafer Technology for Crystalline Sillicon Solar Cell)。該公司已建立了使用傳送帶等的自動(dòng)化生產(chǎn)線,是“量產(chǎn)水平的技術(shù)”(發(fā)表者)。
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左側(cè)是學(xué)會(huì)會(huì)場(chǎng)。右側(cè)建筑是展示會(huì)場(chǎng)
制造方法如下。首先,令底板與熔化的硅接觸,使硅附著在底板表面。之后,將附著的硅剝離,并以激光切削剝離的片狀硅的周圍部分,使成合適的尺寸。而激光切削下來(lái)的硅可熔化再利用。發(fā)布時(shí)用視頻演示了制造過(guò)程,但沒(méi)有公開(kāi)剝離附著硅的方法。
該方法的開(kāi)發(fā)歷時(shí)10年,產(chǎn)品的外形尺寸達(dá)156mm×156mm,產(chǎn)量高達(dá)1825cm2/分。每8秒鐘就可以制造一片晶圓。晶圓厚300μm。制造成本僅為現(xiàn)有鑄造法制造的約200μm厚晶圓的50%。轉(zhuǎn)換效率在2006年就已達(dá)到14.8%?,F(xiàn)在的轉(zhuǎn)換效率值沒(méi)有公開(kāi),但表示,由42片晶圓組成的模塊的最大輸出功率達(dá)到了144W。(記者:河合 基伸)