該小組開發(fā)的微型風(fēng)速傳感器尺寸約為3mm見方，厚度約為1mm。在3mm見方的芯片上配備了2個(gè)傳感器，每個(gè)傳感器的尺寸約為1.5mm×3mm。 

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　　下山研究小組在開發(fā)MEMS的同時(shí)，還研究昆蟲的動作。這是受原東京大學(xué)工學(xué)系機(jī)械情報(bào)工學(xué)專業(yè)教授三浦宏文曾在該研究室研究昆蟲活動的影響。此次傳感器的開發(fā)目的是將MEMS技術(shù)應(yīng)用于昆蟲的動作解析中。 

　　傳感器采用在帶電極的SOI底板上形成長約0.5mm、厚1μm以下的懸臂梁（懸臂彈簧）壓電電阻的構(gòu)造。壓電電阻采用硅半導(dǎo)體，當(dāng)風(fēng)吹向懸臂，懸臂產(chǎn)生應(yīng)變時(shí)，這一應(yīng)變會使電阻發(fā)生變化，這樣就會得到變形的數(shù)值，進(jìn)而獲得風(fēng)的強(qiáng)度值。懸臂部分的重量僅為0.1μg。 

　　傳感器的性能方面，已確認(rèn)可實(shí)現(xiàn)此前的目標(biāo)——測量-2m/s～2m/s的風(fēng)速。此前曾擔(dān)心把傳感器安裝到1秒內(nèi)上下振動數(shù)次的翅膀上，懸臂會因?yàn)槌岚虻募铀俣榷a(chǎn)生噪音。而此次也把其影響減小到了測定值的3～10％（標(biāo)準(zhǔn)5%），已確認(rèn)實(shí)際應(yīng)用時(shí)沒有問題?！皞鞲衅鞯墓舱瘢ü逃校╊l率為10Hz以上，（對于數(shù)Hz的翅膀振動頻率而言）基本不受影響”（山下研究小組發(fā)布人員） 

昆蟲和MEMS成為課題之一 

　　此次的MEMS 2008上，除上述成果外，還有幾件關(guān)于在昆蟲研究中應(yīng)用MEMS的研究成果發(fā)布。尤其引人注目的發(fā)布是，在銅花金龜子和蛾的神經(jīng)上安裝電極、類似遙控玩具那樣進(jìn)行操控的技術(shù)（均在1月17日）。 

　　美國國防部研究機(jī)構(gòu)“國防高級研究計(jì)劃局（DARPA）”07年公布了昆蟲的準(zhǔn)機(jī)器人計(jì)劃“Hybrid Insect MEMS（HI-MEMS）”。此次關(guān)于銅花金龜子和蛾的研究也得到了DARPA的援助。