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在塑料薄膜上印刷形成的Al布線

　　日本產(chǎn)業(yè)技術(shù)綜合研究所（產(chǎn)綜研）在塑料薄膜上使用鋁（Al）等易氧化的金屬，成功地以印刷技術(shù)形成了電極和布線。該技術(shù)是使用金屬膠形成印刷圖案后，為使金屬粒子凝聚，以力學(xué)能量代替熱能而實(shí)現(xiàn)的。另外，因加工溫度降低到150℃以下，可以通用的PET薄膜作底板。用此次的印刷技術(shù)，還成功地在薄膜上形成了基于銅(Cu)、鋅(Zn)以及錫(Sn)的金屬圖案。 

　　此前印刷形成布線和電極時(shí)，使用金屬膠形成印刷圖案后，需要用400℃以上的高溫加熱燒結(jié)使金屬粒子凝聚，以降低金屬圖案的電阻。然而，Al 等高溫下容易氧化的金屬布線，會(huì)因?yàn)榧訜峁ば蚨趸闺娮柚翟龃蟆Ｒ虼?，印刷形成電極和布線圖案比較困難，通常需要進(jìn)行真空處理。印刷用的金屬材料僅限于銀（Ag）、金（Au）以及碳（C）等不易被氧化的材料。 

　　與此同時(shí)，產(chǎn)綜研還開發(fā)出改變了金屬成分的合金膠，能夠印刷形成具各種工作函數(shù)的金屬電極圖案。由印刷技術(shù)而形成的元件，電極的工作函數(shù)對于控制活性層和電極間電荷的移動(dòng)性能很重要。此次，通過調(diào)節(jié)金屬成分，使用控制工作函數(shù)的電極，在薄膜上印刷形成二極管。該二極管的電極材料使用Ag和 Al，都是以此次開發(fā)的印刷技術(shù)形成的?；钚詫邮褂酶叻肿影雽?dǎo)體，通過鑄造方法形成薄膜。這樣，因制成的二極管表現(xiàn)出良好的特性，證實(shí)以印刷技術(shù)形成的各種工作函數(shù)的電極的功能有效。 

　　產(chǎn)綜研期待將該技術(shù)用于柔性顯示器和柔性太陽能電池等柔性器件的制造。（記者：吉澤 惠）