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微機(jī)電系統(tǒng)
  • 由于磁性傳感技術(shù)不會(huì)受到灰塵、污垢、油脂、振動(dòng)以及濕度的影響,因此磁傳感器在工業(yè)設(shè)備和電子儀器中有著廣泛的應(yīng)用,如磁共振成像、生產(chǎn)的自動(dòng)控制、流程工業(yè)、煤礦勘探、電流測(cè)量、缺陷定位和鐵磁材料剩余應(yīng)力檢測(cè)等方面。為了滿足不同場(chǎng)合的應(yīng)用,已根據(jù)不同傳感原理制備了相應(yīng)的磁傳感器,常見(jiàn)的有超導(dǎo)量子干涉裝置(SQUID) 、磁通門(mén)磁力計(jì)、霍爾效應(yīng)傳感器、各向異性磁阻(AMR)傳感器、微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)磁傳感器。
  • 針對(duì)MEMS材料、設(shè)計(jì)、制造、檢測(cè)、工藝、裝備與系統(tǒng)集成等關(guān)鍵技術(shù),建立MEMS醫(yī)療電子研發(fā)體系和產(chǎn)業(yè)化基地,圍繞醫(yī)療電子開(kāi)發(fā)出若干小批量、多品種、高質(zhì)量MEMS器件及微系統(tǒng),推動(dòng)MEMS的可持續(xù)發(fā)展和未來(lái)產(chǎn)業(yè)化的形成打下良好的基礎(chǔ)。
  • 微系統(tǒng):創(chuàng)新研發(fā)合作模式 建設(shè)良好生態(tài)環(huán)境,工業(yè)和信息化部電子科技委專用裝備組微系統(tǒng)原來(lái)是指MEMS(微機(jī)電系統(tǒng)),是微電子技術(shù)從二維向三維發(fā)展。