rfid技術(shù)，簡單來說，就是一種自動(dòng)識(shí)別技術(shù)，通過無線電波實(shí)現(xiàn)對(duì)標(biāo)簽信息的讀取和寫入。而這些標(biāo)簽，就像給物品貼上的小標(biāo)簽，上面存儲(chǔ)著它們的身份信息。當(dāng)標(biāo)簽通過裝有RFID讀寫器的區(qū)域時(shí)，讀寫器就能瞬間獲取標(biāo)簽上的信息，無需建立機(jī)械或光學(xué)的直接接觸。

在半導(dǎo)體行業(yè)，這個(gè)技術(shù)的重要性不言而喻。半導(dǎo)體制造流程復(fù)雜，涉及多個(gè)工序和高度潔凈的環(huán)境。想象一下，一顆小小的芯片，是如何從無到有，經(jīng)歷無數(shù)道工序，最終變成我們手中的智能手機(jī)、電腦的一部分。這個(gè)過程中，RFID技術(shù)起著至關(guān)重要的作用。

半導(dǎo)體產(chǎn)線應(yīng)用

RFID標(biāo)簽附著在晶圓盒、載具或其他容器上，記錄著晶圓的身份、規(guī)格、批次以及經(jīng)過的每一步生產(chǎn)工藝等關(guān)鍵信息。在生產(chǎn)線的不同節(jié)點(diǎn)部署RFID讀寫器，可以實(shí)時(shí)追蹤晶圓的位置、狀態(tài)和生產(chǎn)進(jìn)度，減少人工干預(yù)，降低錯(cuò)誤率，提高生產(chǎn)效率。還可以將RFID讀寫器部署在機(jī)械手臂，晶圓盒部署RFID載碼體，當(dāng)機(jī)械手臂開始工作時(shí)，讀寫器自動(dòng)采集載碼體信息，及時(shí)了解是什么產(chǎn)品、如何加工、何時(shí)加工，并跟蹤晶圓在加工流程中的具體位置，可顯著減少晶圓的供應(yīng)時(shí)間，并充分減少該工序的工作量，倉儲(chǔ)管理系統(tǒng)將RFID的信息與生產(chǎn)控制系統(tǒng) (MES) 的信息關(guān)聯(lián)在一起，可實(shí)時(shí)監(jiān)測所有晶圓。