全面解讀:可讀FOUP晶圓盒的RFID半導體讀寫器設備的使用
隨著國內半導體行業(yè)的發(fā)展,行業(yè)間的競爭也隨之日漸激烈,加之成本上升、國外政策等問題,減少生產成本、提升生產效率成了企業(yè)的目標。
半導體生產是一種具有高度復雜的生產工藝,對生產環(huán)境、生產工序都有著極為嚴苛的要求,尺寸特殊且非常精密,幾乎無法手動生產集成電路。而RFID技術作為物聯(lián)網(wǎng)的感知層面,是現(xiàn)實世界與虛擬世界進行信息交換與通信的核心環(huán)節(jié)之一,實現(xiàn)智能化識別、定位、跟蹤、監(jiān)控和管理等。
1、FOUP晶圓盒產線
將科智立RFID半導體讀寫器安裝在機械手臂上,晶圓盒部署RFID載碼體。當機械手臂開始工作時,讀寫器自動采集載碼體的信息,了解產品的種類、加工情況,并匹配到生產控制系統(tǒng)中相對應的生產工序對產品進行加工,跟蹤晶圓盒在加工流程中的具體位置,實時監(jiān)測所有的晶圓加工情況。
2、FOUP晶圓盒運輸
由機械手臂上的RFID半導體讀寫器識讀FOUP晶圓盒上的標簽,獲取FOUP晶圓盒的產品信息,將晶圓盒放置在AGV小車上,AGV小車讀取晶圓盒上的標簽,獲取到晶圓盒的存放地點并運輸至該地,實現(xiàn)物料的自動運輸。
3、晶圓存儲柜的使用
RFID半導體讀寫器安裝在存儲會承載平臺支撐板的下方,當FOUP晶圓盒進入存儲柜時,半導體讀寫器識別RFID載碼體,判斷晶圓盒的存放信息、是否存放正確,并記錄此次存放的時間、數(shù)量、批次等信息。在必要時,可根據(jù)關鍵詞快速找到相對應的晶圓。
科智立RFID半導體讀寫器設備
JY-V640
JY-V640是面向半導體制造業(yè)開發(fā)的半導體RFID讀寫器,采用HDX半雙工數(shù)據(jù)傳輸模式,支持SECS協(xié)議和Modbus RTU協(xié)議,符合世界SEMI標準,兼容TI公司產的CID載體,具有出色的讀寫可靠性和耐環(huán)境性,支持外部光電開關的IO信號觸發(fā)讀卡。
JY-V610
JY-V610半導體RFID讀取器小巧輕便,采用一體式設計,可靈活安裝。支持134.2kHz工作頻率,采用HDX半雙工數(shù)據(jù)傳輸模式,支持標準Modbus RTU協(xié)議,內部集成射頻部分通信協(xié)議,使用操作簡單,無需理解復雜的射頻通信協(xié)議。
使用效益
1、提升半導體行業(yè)自動化水平;
2、有效減少人FOUP晶圓盒與人的接觸,避免灰塵堆積對產品品質的影響;
3、采用自動化運輸,簡化管理,加快工作效率;
4、實時監(jiān)測生產流程、實時管理工作,實現(xiàn)效率的最大化;
5、避免人員過多的走動造成灰塵飛揚,大幅減少后期的維護工作。