歐洲微電子研究中心imec推出了作為生物傳感器的最小硅finFET，翅片寬度13nm，柵極長(zhǎng)度50nm，在imec的300mm無塵室采用CMOS兼容工藝流程制造，一旦實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)，并將其集成到高通量、高成本效益的檢測(cè)工具中，可實(shí)現(xiàn)數(shù)以萬計(jì)的BioFET并行工作。imec目前已證明的檢測(cè)極限為幾十個(gè)分子，最終目標(biāo)是感應(yīng)單個(gè)DNA分子的高精度BioFET。

由于其高集成度和低成本的特點(diǎn)，場(chǎng)效應(yīng)晶體管(FET)在DNA、蛋白質(zhì)和病毒檢測(cè)以及pH值傳感等生物傳感應(yīng)用中得到了廣泛的關(guān)注。當(dāng)生物分子與經(jīng)過化學(xué)修飾的柵極電介質(zhì)表面結(jié)合時(shí)，其閾值電壓會(huì)發(fā)生變化，從而產(chǎn)生可測(cè)量的信號(hào)。盡管該領(lǐng)域的研究不斷取得進(jìn)展，但BioFET器件尚未將其所有潛力成功轉(zhuǎn)化為產(chǎn)品。Imec研究了先進(jìn)的CMOS FET器件，即所謂的具有三維短長(zhǎng)度柵極的finFET，以提高BioFET的靈敏度并開辟新的應(yīng)用。這些finFET在高集成度和并行化方面具有優(yōu)勢(shì)，但人們對(duì)其作為BioFET的潛力了解甚少。

imec生物finFET器件長(zhǎng)度可短至50納米，已展示了用于DNA雜交和檢測(cè)納米級(jí)finFET表面上數(shù)十個(gè)DNA分子的強(qiáng)大能力。根據(jù)實(shí)驗(yàn)和仿真，imec預(yù)測(cè)，低于70 nm的finFET可以實(shí)現(xiàn)信噪比(SNR)> 5的單分子檢測(cè)。