MEMS全稱MicroElectromechanical System,微機電系統(tǒng)。MEMS(微機電系統(tǒng))*初大量用于汽車安全氣囊,而后以MEMS傳感器的形式被大量應用在汽車的各個領域,隨著MEMS技術的進一步發(fā)展,以及應用終端“輕、薄、短、小”的特點,對小體積高性能的MEMS產品需求增勢迅猛,消費電子、醫(yī)療等領域也大量出現(xiàn)了MEMS產品的身影。例如,*近火爆的做胃鏡的無痛小膠囊,5G路燈,骨傳感耳機,智能家居中洗衣機與晾衣架之間的智能系統(tǒng),電梯維護等等,MEMS傳感器已經走入“尋常百姓家”。