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納米森林
  • 通過使用等離子體轟擊聚合物工藝并結合金屬納米顆粒的磁控濺射工藝，得到了一種對偏振和入射角不敏感的寬譜高吸收復合納米森林結構，通過將該結構原位集成于MEMS熱電堆傳感器上實現(xiàn)了器件輸出電壓的顯著提升。
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  • 濕度的監(jiān)測與控制在氣象、農業(yè)、汽車、醫(yī)藥等行業(yè)具有重要意義。隨著MEMS技術的發(fā)展，基于MEMS工藝的電容式濕度傳感器因其在寬相對濕度范圍內具有較好的靈敏度和較好的抗干擾能力而受到廣泛關注……
    05/25