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光刻技術(shù)
上海微系統(tǒng)所研發(fā)3D電子束光刻技術(shù)可用于智能仿生感知
電子束光刻精度極高，通常是二維微納加工獲得最小尺寸的標準工具，如何把電子束光刻的能力拓展到真三維微納加工是研究的努力方向。
09/02
新型光刻技術(shù)解決硅材料脆性難題，MEMS機械性能極限有望突破
據(jù)麥姆斯咨詢介紹，硅材料從大自然常見的沙子中取材，成本低、產(chǎn)量大，因此被廣泛用作MEMS器件的襯底材料，并被譽為信息時代的“骨干”材料。
06/22
歐盟研發(fā)納米結(jié)構(gòu)傳感器陣列技術(shù)獲突破
歐盟研發(fā)納米結(jié)構(gòu)傳感器陣列技術(shù)獲突破，其利用最先進的納米壓印光刻技術(shù)，整合卷到卷生產(chǎn)制造工藝，實現(xiàn)了低成本大批量制造生產(chǎn)大面積NSA的工業(yè)流程設(shè)計和設(shè)備樣機開發(fā)，奠定了NSA進一步商業(yè)化推廣應(yīng)用的基礎(chǔ)。
12/04
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