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上海微系統(tǒng)所實(shí)現(xiàn)片上亞納米量級的超靈敏位移傳感
近日,中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)所信息功能與材料國家重點(diǎn)實(shí)驗室硅光子課題組研究員武愛民團(tuán)隊、深圳大學(xué)教授袁小聰、杜路平團(tuán)隊及英國倫敦國王學(xué)院教授Anatoly V. Zayats課題組合作,在硅襯底上提出了基于布洛赫表面光場的非對稱傳輸特性實(shí)現(xiàn)超靈敏位移測量的方法,并實(shí)現(xiàn)了亞納米級的位移傳感。
07/07